薯条和小费

马库斯·路德维希和赛斯·弗雷登

马丁A费希尔物理学院布兰代斯大学，Waltham马萨诸塞州02454，美国

为什么这个有用？

---

为了在接触式光刻中获得高分辨率和高宽高比的特性，在曝光过程中必须使光罩与光刻胶直接接触。这被晶圆边缘形成的边缘珠阻碍了，它可以测量名义抵抗厚度的倍数[1]。

专用旋涂机在旋涂后自动去除边缘珠。然而，在软烤过程中，由于咖啡环效应，形成了新的边缘珠[2]。因此，建议：尤其是对于较厚的抗蚀膜，之前不需要去除边缘胶条，但在软烘烤之后[3]。

在单层设备上，去除边缘焊道并不重要。然而，对于多层设计，去除边缘珠可以显著提高特征分辨率。尤其是当第一层抗蚀剂较厚，第二层较薄时。

本文介绍了一种简单、廉价的溶剂喷涂法去除边缘珠子的装置的制作和使用。

我需要什么？

---

材料：

• 100毫升圆形介质储存瓶GL45
• Diba Labware瓶盖Q系列GL45 2 x 1/4-28端口，带阀门（00945Q-2V）
• 丙烯酸板12“x 6”，3/16“厚”
• 聚乙烯板，1/16“厚”
• 3x AAA电池组，带开关+电池
• 派克微型隔膜泵T2-05 IC（3/32 ID）
• 2x¼-28至倒钩3/32 ID接头
• 硅胶管0.078“ID，50厘米长
• 2x平头机械螺钉4-40 3/8+螺母
• 2x内六角机用螺钉6-32 3/8+螺母+垫圈
• 不锈钢钝针，27号鲁尔聚丙烯轮毂，1/2“长度”
• 拉索4
• 聚丙烯管接头，公鲁尔滑到带刺车钩，3/32“管ID

工具：

• 热风枪（奥悦968A+）
• 激光切割机（40W/45W全谱激光二氧化碳业余激光器）或卷轴锯，钻床和钻头
• 烙铁（奥悦968A+）及焊锡

我做什么？

---

建造边缘珠去除器，首先准备所有组件，如图1所示。

切割丙烯酸板和聚丙烯板，并按照schematic1.pdf或schematic1.dwg（autocad）文件中的指示钻孔。将蓄电池组导线焊接到泵上。然后跟随视频说明1.

图1：所需材料

图2：组装装置

边缘胶条拆卸（按照视频2中的说明）：

1. 旋涂晶圆，软烤和冷却。
2. 将晶圆置于旋转镀膜机的中心，以700转/分的速度旋转。视频中使用的可选定心工具是3D打印在FormLabs Form One 3D打印机上。（使用centering tool.stl文件重新打印）
3. 开启泵，打开泵阀给瓶子加压，将喷嘴放在边缘焊道上。
4. 开启喷雾阀和溶解边珠
5. 慢慢向外扫，继续喷洒15秒钟。
6. 关闭喷雾阀，上升至2000转/分，持续10秒。
7. 关闭泵并关闭两个阀。显影剂可能留在瓶子和管子中。
8. 晶圆不需要再次烘焙，可以立即曝光。

图3:SU8涂层的3“晶圆在去除边缘珠之前（左侧）和之后（右侧）。

图4：特征分辨率比较

多层设计的CAD绘图

图5:SU8用边缘焊道制造的母版

图6:SU8无边缘焊道母材

视频1：

视频2：

工具书类

---

[1]Shaurya Prakash，Junghoon Yeom纳米流体与微流体：系统与应用微与纳米技术，William Andrew二千零一十四

〔2〕Robert D.DeeganOlgica Bakajin托德F杜邦Greb Huber西德尼河纳格尔和托马斯A。威滕毛细血管流动是干液滴产生环状污渍的原因，自然389，827-829（10月23日一千九百九十七）内政部：10.1038/39827

[3]http://www.cns.fas.harvard.edu/facilities/docs/sop031_r2_6_su-8%20photography%20process.pdf