Jonathan C.陈Shengjie Zhai and Hui Zhao
机械工程系内华达大学Las Vegas NV,USA
聚二甲基硅氧烷（PDMS）的碱与固化剂的混合过程中，由于其化学反应，常常在预聚物中产生气泡。The presence of air bubbles significantly decreases the strength and diaphaneity of the PDMS chip.Therefore,从PDMS中去除气泡变得必要和重要。对于10g PDMS混合溶液，传统的脱气方法至少需要2小时。看起来太长了。需要一种缩短脱气时间的方法。
在这里，我们开发了一种简单而可靠的方法来加速脱气过程。通过定期停止泵并拔出软管，we can remove the bubbles by forcing them to burst since the bubble cannot withstand the dramatic change in pressure,考虑到真空内部的低压和外部较高的大气压力之间存在较大差异。使用这个过程,我们可以在40分钟左右（10-15克pdms溶液）加速生产过程，并为任何目的制造光滑无气泡的pdms样品。尤其是光学应用。In practice,这种时间减少可能取决于真空本身和PDMS溶液的体积。
我需要什么？
- SYLGARD 184 silicone elastomer base & curing agent (Dow Corning)
- 1 Disposable polystyrene weighing dish (LxWxH 86mm x 86mm x 25mm,白色）
- Gast Doap 704aa compressor vacuum pump 18 HP 115 Vac
- Bel-Art vacuum chamber and plate (Interior volume 0.21 cu.英尺）
- IKA Ceramag Midi magnetic stirrer ceramic hot plate (50-1200RPM)
- 1个八面体磁性搅拌棒1“x 5/16”
我该怎么办？
- 在称盘中称量PDMS基料和固化剂（10:1）。
- Mix the base and curing agent together mechanically with a magnetic stirrer.（大约1000转/分到1200转/分）
- Move the dish to assure that the stir bar is around all sides of the weighing dish for proper mixture for about 10-20 minutes.(Depending on amount of PDMS used)
- 将混合好的样品放入真空室，打开泵，离开大约10分钟。
- After the 10 minutes,there should be a significant amount of air bubbles appearing on the surface.Turn off the pump,快速拔出真空室阀，and let outside air in.这种作用改变了真空室的压力，消除大部分大表面气泡，把溶液中的小气泡抽出来。
- 重新打开软管并再次打开泵。
- 重复步骤5和步骤6，直到表面和溶液中不再有气泡。
- 将经过处理的PDMS浇铸在所需模具上，例如有图案的晶圆。
- Cure at 65°C for 1.5 hours.
我还应该知道什么？
如果将PDMS用作模具，并将其放置在带显微镜玻璃片的培养皿中，air bubbles will be significantly harder to remove due to bubbles trapped under the slide.This generally requires longer time within the vacuum and the occasional displacement of the slide to release any trapped air bubbles.
Another thing to note is that when casting the treated PDMS onto the desired mold;make sure not to pour out the mixture too fast.The slower the mixture is poured in,转移过程中产生气泡的可能性越小。如果样品在铸造过程中产生气泡，将产品再次置于真空中10分钟，可以消除任何不需要的气泡。
Figure 1: Measure out a 10:1 ration of base to cure.
图2：机械搅拌混合物。
图3：关闭泵，利用压差消除气泡。
Figure 4: Pour the mixture into the desired mold slowly.
Figure 5: Cure at 65°C for 1.5 hours.
图6：无气泡的预制PDMS样品。
图7:PDMS样品，放有一个显微镜载玻片。
将PDMS混合物倒入所需模具后，样品中不可避免地会有一些小气泡。所以在将样品放入烤箱中固化之前，需要另一个真空过程，尤其是有图案的晶圆。
如果你的PDMS含有一种溶剂，比如DCM（40度时为BP）或1,4-二恶烷（100度时为BP），怎么办？
你怎么能用PDMS做一个没有气泡的图层？I use the solvent to dissolve a powder into the PDMS?我遇到了很大的问题，PDMS层背面的表面不均匀。
正如你正确地承认的那样，由于预聚物的化学反应，混合PDMS的碱和固化剂会在预聚物中产生气泡。我已经多次遇到这个问题，现在我想知道PDMS的周期性脱气是否可以随笔解决方案and does it really can help to create a perfect bubble-free sample?
This chemical experiments is pretty simple to making energy drinks,有关它的信息，您可以在http://www.strongestenergydrink.org网站This is very interesting site about it!
I have an even simpler method –
1.按照制造商说明混合Sylgard 184弹性体（即10:1).
2。将弹性体混合物倒入所需形状。
3.Panic slightly because of all the tiny bubbles.
4。Walk around your institute for 15 minutes looking for either a centrifuge or a vacuum/freeze drier unit.
5。放弃寻找。
6.Return to pre-prepared elastomer.
7.所有的气泡都会消失。
Simple.